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9600 Compressor Installation, Operation, and Maintenance
5 P/N 8040540
Table of Contents (continued)
Section 3 - Installation
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
Supply and Return Water Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Hard Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Flexible Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Power Cable Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Phase Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
Cryopump Power Phase Switch Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Connecting/Disconnecting Helium Flex Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Connecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Disconnecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Single On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Single Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
Multiple On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Multiple Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Section 4 - Operation
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Static Helium System Pressure Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Compressor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Replacement of Helium Circuit Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Section 5 - Maintenance
Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Suggested Maintenance Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Adsorber Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Reducing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Increasing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Adding Helium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
- Maintenance Instructions 1
- Table of Contents 4
- Table of Contents (continued) 5
- Benefits 8
- Compressor Configurations 8
- System Documentation 9
- Figure 1-1: 9600 Compressor 10
- Specifications 11
- P/N 8040540 1-5 12
- 9600 Compressor Description 13
- 1-6 P/N 8040540 13
- P/N 8040540 1-7 14
- Component Description 15
- P/N 8040540 1-9 16
- 1-10 P/N 8040540 17
- P/N 8040540 1-11 18
- 1-12 P/N 8040540 19
- P/N 8040540 1-13 20
- 1-14 P/N 8040540 21
- Introduction 22
- Shipping Carton Inspection 22
- Removal from Shipping Carton 22
- Compressor Inspection 23
- Section 3 - Installation 24
- P/N 8040540 3-3 26
- Electrical Connections 27
- P/N 8040540 3-5 28
- Installation 29
- 3-6 P/N 8040540 29
- P/N 8040540 3-7 30
- Disconnecting 31
- P/N 8040540 3-9 32
- 3-10 P/N 8040540 33
- P/N 8040540 3-11 34
- 3-12 P/N 8040540 35
- P/N 8040540 3-13 36
- 3-14 P/N 8040540 37
- P/N 8040540 3-15 38
- 3-16 P/N 8040540 39
- Section 4 - Operation 40
- Compressor Operation 41
- P/N 8040540 4-3 42
- Operation 43
- 4-4 P/N 8040540 43
- Section 5 - Maintenance 44
- P/N 8040540 5-3 46
- Maintenance 47
- 5-4 P/N 8040540 47
- P/N 8040540 5-5 48
- 5-6 P/N 8040540 49
- Prelimary 50
- Appendix B - Flow Diagram 52
- B-2 P/N 8040540 53
- Technical Inquiries 54
- C-2 P/N 8040540 55
- P/N 8040540 C-3 56
- C-4 P/N 8040540 57
- Appendix D - Schematic 58
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