Olicom 9600 Instrukcja Użytkownika Strona 38

  • Pobierz
  • Dodaj do moich podręczników
  • Drukuj
  • Strona
    / 59
  • Spis treści
  • BOOKMARKI
  • Oceniono. / 5. Na podstawie oceny klientów
Przeglądanie stron 37
9600 Compressor Installation, Operation, and Maintenance
P/N 8040540 3-15
C
HELIX TECHNOLOGY CORPORATION
-
TI C
RY
OG
EN
ICS
NOTE: The Cryo-Torr Interface can be installed at the process tool
containing the cryopumps as shown in Figure 3-8 or near the Compressor
as shown in Figure 3-9. CTI-CRYOGENICS recommends that the Cryo-
Torr Interface be installed at the process tool to reduce cable requirements.
Figure 3-8: Recommended Multiple Cryo-Torr Cryopump Installation
CRYOPUMP POWER CABLE
USER REMOTE
(FROM VACUUM SYSTEM)
HELIUM SUPPLY
HELIUM RETURN
WATER
POWER
CRYO-TORR
INTERFACE
REMOTE
Przeglądanie stron 37
1 2 ... 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 ... 58 59

Komentarze do niniejszej Instrukcji

Brak uwag